1 目的和原理
高效过滤器现场安装以后检漏是确认高效过滤器及配套的安装静压箱，没有发现泄漏或微量泄漏是在规范允许的范围之内。如果高效过滤器装置经检漏是合格的，可以确保洁净室的安全可靠的运行，如此时室内洁净度仍未达标，应从洁净室的其它方面查找原因。
高效过滤器安装后的检漏不同于过滤器厂家在工厂里的效率测试。后者仅对过滤器的效率和其它相关性能测试，而前者涉及高效过滤器和安装过程中相关的多种因素而产生的泄漏。
高效过滤器安装后检漏通常在空态或静态下进行，同时建议在洁净室风量平衡及正负压调试以后进行，新建成的洁净室或更换终端高效过滤器后均应作检漏测试。
《洁净室施工及验收规范》（下简称规范）第 3.4.4条，有“经检查和检漏合格的应立即安装”，指现场检漏合格以后，再安装高效过滤器，事实上很难具备这样的检漏条件。不可能做到，而根据规范附录六的要求是安装后进行高效过滤器的扫描法检漏。
检漏时，从高效过滤器的上风侧引入气溶胶，并同时在高效过滤器的下风侧进行扫描检漏，以检漏高效过滤器的过滤介质，密封胶过滤器框架，密封垫片等处有无泄漏。
这里暂不讨论管道内及空调器内的高效过滤器检漏，只对安装在洁净室终端及相关净化设备内的高效过滤器的检漏方法作一些简单的讨论。
2 高效过滤器上游气溶胶
将冷发雾方法产生的多分散相气溶胶引入高效过滤器的上风侧空气中。使其达到需要的气溶胶浓度。规范上要求以大于或等于 0.5μm 的微粒为准。气溶胶的材料有 DOP（邻苯二甲酸二辛酯）、PAO（聚乙烯烃）、DOS（葵二酸二辛酯）等，这些气溶胶的检漏原理是一样的。
规范上要求高效过滤器上风侧的微粒浓度（≥0.5μm）必须大于或等于 3.5×104 粒子 /L。事实上，在空调器内发尘，过滤器上风侧的浓度较难达到要求，必须导入足够数量的气溶胶，且长时间地发尘将会影响高效过滤器的使用寿命。所以，高效过滤器的检漏，在高效过滤器送风口的静压箱内发尘为首选，不具备条件的，也可以考虑在送风管上导入DOP 的气溶胶。
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